- концентрация имплантированных ионов примеси
- dosage concentration
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ — (ионное внедрение, ионное легирование) введение примесных атомов в твёрдое тело бомбардировкой его поверхности ускореннымиионами. При ионной бомбардировке мишени наряду с процессами распыления поверхности, ионно ионной эмиссии, образования… … Физическая энциклопедия
РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ — структурные повреждения, образующиеся при облучении тв. тел потоками ч ц и жёстким электромагн. (гамма и рентгеновским) излучением. Переданная тв. телу энергия расходуется (частично) на разрыв межатомных связей. Для образования простейшего Р. д.… … Физическая энциклопедия